铭赛机器人产品入选市首台（套）重大装备名单 |
| 时间：2021-12-04 19:17:06 来源：武进新闻 作者：阳湖网 |
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近日，我区15个企业产品被认定为2021年度常州市首台（套）重大装备。常州铭赛机器人科技股份有限公司的晶圆级喷胶系统（GS-600SW）入选，该系统也是国内首创的通过自研及垂直整合，应用于晶圆级底部填充工艺及其自动上下料的系统。
常州铭赛机器人科技股份有限公司项目经理周典虬介绍，晶圆级喷胶系统（GS-600SW）自去年4月开始研发，今年5月开始试运行。该系统集晶圆自动上下料与晶圆级喷胶功能于一体，可全自动实现晶圆搬运、对位、预热、作业加热、喷胶、散热等功能。它的独特优势在于，能够在晶圆流转与作业全过程中对温度进行精细管控并自动校正，控制在±1℃之内。同时还配置了AMHS自动上下货机器人接口，无需人工操作，匹配信息化管理要求与无人化管理趋势。
常州铭赛机器人科技股份有限公司项目经理
周典虬：满足这些工艺的同时，进行一些产品稳定性的输出。我们的设备在全程作业的过程时具备全程监控录像的功能。可以在作业过程中实时收集一些数据进行一些分析。
常州铭赛机器人科技股份有限公司自2008年成立以来，始终专注于半导体及精密电子生产制造过程中的关键制程装备研发、生产和销售，坚持“核心技术自主可控”原则，以高成长性先后三次获评苏南国家自主创新示范区“瞪羚企业”，并获评国家知识产权示范企业。营业和技术支持网络覆盖中国、韩国、日本、越南等国家。
常州铭赛机器人科技股份有限公司项目经理 周典虬：希望我们首创的这台设备在后续，应用于更多的封测工厂的核心制程的工艺，提供更多的服务。明年我们将继续致力于推进先进封装领域的点喷胶的智能化产线项目的继续的深耕。计划投入制造一个新的研发生产先进封装的大楼。
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